THE BEST
CHOICE
CHOICE
理想的选择
深受好评
技术参数
- 产品名称
- MFC-C 气体层流流量控制器
- 满量程流量
- 20sccm-20slm
- 相应时间
- ≤1.0sec
- 流量精度
- ±1.0%S.P.(>20%F.S.)、±0.2%S.P.(≤20%F.S.)
- 直 线 性
- ±0.5%F.S.
- 重 复 性
- ±0.2%F.S.
- 工作压差
- ≤300kPa(D)
- 最大工作压力
- 450kPa(G)
- 耐 压
- 1MPa(G)
- 数字接口
- RS485
- 驱动电源
- 24VDC±4V
- 消耗功率
- 4.5V
- 接触气体材料
- M:SUS316L、PTFE、磁性不锈钢 R:SUS316L、PTFE、铜、氟橡胶制品